組み込みソフトウェア開発

組み込み制御開発
（半導体露光装置）

半導体露光装置コントローラー開発

  • 微細な位置合わせを実現するコントローラー開発

  • SEMI規格に準じたソフト開発

  • 装置を模擬するシミュレーター開発

事例イメージ事例イメージ

技術領域

コントローラー開発

  • 位置合わせ機能制御
  • SEMI規格※に準拠したソフト開発

OS対応

  • EOLを迎えたOSから別OSへの移行
  • OSの脆弱性対応

シミュレーター開発

  • 半導体露光装置の仕様に即した機種対応
  • デバッグ効率化向けツール開発
  • ※ SEMI規格：
    半導体製造に関わる規格の標準化を目的として作られた国際的なガイドライン
戻る